Cấu tạo và nguyên lý hoạt động của bơm khuếch tán

 Bơm khuếch tán chỉ có thể làm việc khi môi trường đạt độ chân không sơ cấp cần thiết (từ 0.1 – 1 Par). Để đạt được chân không đó, ban đầu người ta dùng một bơm sơ cấp là bơm chân không cơ học để tạo ra chân không sơ cấp ban đầu. Cấu tạo chính của bơm khuếch tán là một buồng đốt nhiều tầng. Người ta sử dụng buồng đốt để đun sôi một loại dầu (gọi là dầu chân không) có nhiệt độ hóa hơi thấp. Các dòng hơi dầu khi bay hơi lên sẽ hấp phụ các phân tử khí khuếch tán từ môi trường cần tạo chân không cao. Sau khi hấp phụ, dầu được làm lạnh và bị rơi xuống, nhả các phân tử khí theo một đường khác (nhờ hệ bơm cơ học đi kèm) và quay trở lại buồng đốt.

Ưu điểm và nhược điểm

* Bơm khuếch tán có ưu điểm là dễ dàng tạo ra chân không với công suất lớn và tốc độ làm việc nhanh (có thể tới vài chục mét khối trong một giây) và có giá thành thấp, Vận hành êm , bảo dưỡng sửa chữa dễ dàng và chi phí thấp .Mặc dù hiện nay để thực hiện hút chân không cao đã có bơm phân tử nhưng với nhưng ưu điểm vượt trỗi bơm khuếch tán vãn được sử dụng rộng rãi trong nghành chân không nói chung và nghành PVD nói riêng.

* Nhược điểm  của bơm khuếch tán là giới hạn làm việc, nó không thể tạo ra các chân không quá lớn .

Các bài khác

• »   5 yếu tố quyết định lớp mạ PVD (01/10/2024)
• »   video nguyen ly ma pvd -ma chan khong (02/01/2020)
• »   Lịch sử hình thành và phát triển công nghệ PVD (29/12/2017)
• »   Giới thiệu về công ty việt mỹ - Trung dũng (05/08/2017)
• »   Quy trình khép kín từ gia công khung kim loại, mạ PVD (27/11/2017)